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안녕하세요. 소피디입니다.
이번엔 산업현장에서 많이 적용되어 있는 Cleanroom이 어떻게 청정도를 유지하는지 영상을 준비하였습니다.
시청해 주셔서 감사합니다.
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클린룸의 청정도를 나타내는 클래스에 대해 알아보자 – 나비엠알오
일반적으로 자동차 부품 공장이나 수술실 · 치료실 등에서는 클래스 1000 ~ 100000, 약품 · 식품 공장 등에서는 클래스 100 ~ 100000 전자 정밀 부품 공장 …
Source: blog-nt1.tistory.com
Date Published: 2/27/2021
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클린룸개요
청정등급(Class), 청정실의 청정도를 구별하기 위해 규정하며 원어는 Cleaness 이다. 청정실(Clean Room), 먼지가 제거된 상태에서 관리,유지되는 깨끗한 방.
Source: www.wooleeeng.co.kr
Date Published: 5/12/2021
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클린룸 관리 표준(ISO 14644-1) – 연두냥v 블로그.
클린룸의 클래스(등급)은 일정 공간 내에 일정 크기 이상의 입자가 일정 개수 이내로 포함되어 있는 정도에 따라 나뉩니다.
Source: kimjs6873.tistory.com
Date Published: 8/16/2022
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클린룸 – 나무위키
반도체, 디스플레이 공정에서 주로 사용되고 CLASS 1,000이상의 현존하는 클린룸 중에서 가장 높은 청정도를 얻기위한 방식이다.
Source: namu.wiki
Date Published: 8/23/2021
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[반도체 용어 사전] 클래스 – 삼성반도체이야기
반도체 클린룸의 청정도를 나타내는 단위. 반도체 업계에서는 생산라인 환경 관리를 위해 생산라인의 청정도를 ‘클래스(Class)’라는 단위로 구분해 관리 …
Source: www.samsungsemiconstory.com
Date Published: 1/1/2022
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기술현황 > 연구개발 > 클린룸의 등급분류 기준
Clean Room Class. 1. 과거 크린룸의 규격은 대부분 미국과 일본의 규격을 인용한 것으로 통상 미국의 규격을 사용하였으나 현재 ISO 14644의 국제규격으로 통일되어 …
Source: www.gftech.kr
Date Published: 12/24/2022
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[디스플레이 용어알기] 80편: 클린룸(Clean Room)
디스플레이에서 클린룸은 ‘클래스(Class)’라는 규격으로 청정 등급을 표시합니다. 클래스란 ‘가로와 세로, 높이가 각 1피트(ft)인 정육면체 공간당 …
Source: news.samsungdisplay.com
Date Published: 10/6/2022
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- Author: 소피디
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- Date Published: 2021. 1. 11.
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클린룸의 청정도를 나타내는 클래스에 대해 알아보자
클린 룸(크린 룸)이란, 공기 중에 포함되는 미립자의 수에 일정한 제한을두고 실내 공기를 적절한 상태로 유지 한 방(room)을 뜻합니다. 청정도를 나타내는 「클래스」는 각 규격에 따라 다양한 수준으로 구분되며, 엄격한 기준이 정해져 있습니다.
크린 룸은 FED, ISO 2개의 규격이 존재하고 공기 중에 포함되는 대상 입자크기의 입자 수에 따라 청정도를 각 클래스로 구분하고 있습니다.
크린 룸은 FED, ISO 2개의 규격이 존재하고 공기 중에 포함되는 대상 입자크기의 입자 수에 따라 청정도를 각 클래스로 구분하고 있습니다.
클래스란?
클래스는 크린 룸의 청정도를 나타내는 지표입니다. 크린 룸의 용도는 일반적인 실내보다 청결한 환경을 필요로하는 의료기관 치료실과 같은 곳부터, 눈에 보이지 않는 크기의 작은 먼지가 제품의 치명적인 결함이 될수있는 반도체 공장과 같은 곳까지 다양하며, 요구되는 청정도도 다릅니다. 이러한 깨끗한 환경을 필요로하는 각 장소에서 그 필요 수준에 따라 적절한 환경을 마련하기 위해 크린 룸을 청정도별로 분류하는 “클래스”라는 개념이 설정되었습니다.
일반적으로 자동차 부품 공장이나 수술실 · 치료실 등에서는 클래스 1000 ~ 100000, 약품 · 식품 공장 등에서는 클래스 100 ~ 100000 전자 정밀 부품 공장에서 클래스 100 ~ 10000, 반도체 공장에서는 클래스 1 ~ 100의 기준치를 가지고 있습니다. (FED 규격). 크린 룸 설비에는, 그 요구 청정도에 따라 실내 양압 관리 및 특수 배기 시스템, 이중 문, 작업자를 통한 미립자의 반입을 방지하는 에어 샤워 등, 다양한 시설이 수반됩니다.
산업 분야 요구되는 청정도 반도체 공장 클래스 1 ~ 100 전자 부품 공장 정밀 공장 클래스 100 ~ 10,000 약품 · 식품 공장 클래스 100 ~ 100,000 자동차 부품 공장 · 수술실 · 치료실 클래스 1000 ~ 100,000
클래스의 표시 방법
클린 룸 클래스는 단위 부피 당 공기에 포함 된 대상 입자크기의 입자숫자로 구분할 수 있습니다. 예를 들어, JIS 규격에서는 1입방 미터의 공기 당 입경 0.1μm의 입자가 1000 개 들어있는 경우 클래스 3이되고, 10000 개 포함되어있는 경우 클래스 4가 됩니다.
현재 한국에서 사용되고있는 클린 룸의 규격은 FED (미국 연방 규격), ISO 2 가지입니다. 각 2개의 규격은 미터법을 사용하거나 피트 법 등, 클래스의 표현은 미묘하게 다릅니다 만, 「클래스의 숫자가 작을수록 청정도가 높다라는 점 에서 는 공통점이 있습니다.
FED 규격 가장 오래된 사용되는 규격이며, 관습 적으로 지금도 가장 많이 사용되는 것이 FED입니다. FED 표준은 공기 1 입방 피트 당에있는 0.5μm 이상의 입자 수에 따라 클래스 1에서 클래스 100000까지 분류합니다. FED 규격에서는 대상 입자의 수를 그대로 클래스의 표현에 대응하기 위해 단위 부피 당 0.5μm의 입자가 100 개 이하인 경우의 표현은 클래스 100입니다. FED 규격의 클래스 100은 ISO 규격의 ISO5 수준에 해당합니다.
청결도 ISO 레벨 기준치 상당 입경 0.5 / μm의 입자 수 (1f3) 클래스 1 ISO 3 1 클래스 10 ISO 4 10 클래스 100 ISO 5 100 클래스 1000 ISO 6 1000 클래스 10000 ISO 7 10000 클래스 100000 ISO 8 100000
ISO 규격
ISO 표준은 현재는 국제 통일 규격으로 사용되고 있으며, FED 등의 다른 표준을 사용하는 현장에서도 ISO 표준 관리로 변경하려는 움직임도 있습니다. ISO 표준은 1 입방 미터 당 공기 중에 존재하는 0.1μm 이상의 입자 수를 기준으로 클래스 1에서 클래스 9까지로 분류합니다. 클래스의 숫자는 입자의 수를 지수로 나타낸 때의 지수입니다. 즉, 1 입방 미터의 공기 중에 0.1μm 이상의 입자가 1000 개있을 경우는 1000 거듭 제곱으로 표현했을 때의 지수는 3이므로, 클래스 3입니다.
클래스 설정
클린룸 관리 표준(ISO 14644-1)
애국가나 산업 홍보 영상에서 위와 같은 장면을 보신 적이 있습니까.
클린룸이란 공기 중 부유 미립자가 규정된 청정도 이하로 관리되고
그 공간에 공급되는 재료에 대해서 요구되는 청정도가 유지되며
온, 습도 등의 환경에 대하여 관리가 가능하도록 만들어진 공간을 말합니다.
클린룸에서는 불량을 줄여서 수율을 최대로 올리기 위하여 갖추어진 환경을 관리 및 유지하기 위한 노력이 필요합니다.
클린룸의 클래스(등급)은 일정 공간 내에 일정 크기 이상의 입자가 일정 개수 이내로 포함되어 있는 정도에 따라 나뉩니다.
나누는 먼지(Particle(Dust)) 란 공기 혹은 가스나 액체에 존재하는 고체성 물질을 말합니다.
크기에 따라 분류합니다. 1㎛ 보다 큰 것은 미립자(Dust), 1㎛ 보다 작은 것은 먼지(Particle) 라고 합니다.
미연방규격 기준 (U.S.Fed.Std)으로는 0.5㎛ 이상 크기의 입자가 1 ft³ 중에 몇 개 포함되어 있는가에 따라
CLASS로 표시하며 이는 가장 널리 사용하는 규격입니다. (예 : CLASS 100,000)
ISO규격 (ISO 14644-1) 기준으로는 0.1 ㎛ 이상 크기의 입자가 1 m³ 중에 몇 개 포함되어 있는가에 따라 CLASS로 표시합니다.
(예 : ISO CLASS 5일 경우 1 m³ 내에 0.1 ㎛ 이상의 입자가 100,000개 이내로 포함되어 있는 정도의 청정도)
머리카락의 지름이 약 100㎛라고 하니 얼마나 철저한 환경에서 제작되는지 가늠할 수 있습니다.
산업 분야에 따라서 요구되는 클린룸 클래스를 정리해보았습니다.
전자, 기계, 컴퓨터, 바이오 분야에서도 클래스 청정도를 유지시키는 것이 중요하나
반도체의 경우 환경에 따라 수율이 좌지우지되기 때문에 특히나 관리가 잘 이루어져야 하는 분야 중 하나입니다.
반도체 클린룸(fab)은 구역에 따라 조명에 따라 두가지로 나눠집니다.
1. Yellow zone (노란색 조명)
이 zone에서 진행되는 공정이 광학적인 반응을 이용하는 원리입니다.
따라서 광학적인 영향이 적은 파장의 조명을 사용합니다.
제품 제작 시에 불량을 발생시킬 요인을 줄이기 위한 목적입니다.
wafer표면에 광에 따라 반응하는 PR 막이 입혀져 있는 상태이므로
반응을 억제하기 위한 조명이 사용됩니다.
yellow zone에서 진행되는 공정은 포토, 식각공정입니다.
전문 용어여서 이해가 어려우신 분들은 업체에 내방했을 때 클린룸의 조명이 노란 곳에 들어가시면
마스크와 장갑을 잘 챙겨서 들어가셔야합니다. (인체에 유해한 성분들이 많으니 조심해야합니다.)
2. White zone
나머지 영역들은 일반 조명을 사용합니다.
wafer표면에 광반응이 발생하지 않는 공정들이 이루어집니다.
white zone이라고 하여 반도체 fab에서 안전한 곳이라고 말씀드리기는 어렵습니다.
일반적으로 CVD, Metal, Diffusion 등의 공정이 있습니다.
[반도체 용어 사전] 클래스 – 삼성반도체이야기
클래스
[Class]반도체 클린룸의 청정도를 나타내는 단위.
반도체 업계에서는 생산라인 환경 관리를 위해 생산라인의 청정도를 ‘클래스(Class)’라는 단위로 구분해 관리한다. 클래스(Class) 뒤에는 숫자를 표기해 청정 환경 관리 정도를 등급으로 나타낸다. 일반적으로 이 숫자는 가로와 세로, 높이가 각 1피트(ft)인 정육면체 공간당 포함하고 있는 0.5㎛ 크기 이상의 먼지 개수를 뜻한다.
‘클래스10’은 1입방피트(ft3) 내에 0.5㎛ 이상 크기의 먼지가 10개 이하로 존재하는 청결 정도를 말한다. 예를 들어 ‘클래스1’은 가로/세로/높이가 각각 1피트(ft)인 정육면체 내에 사람 머리카락 직경의 1/1000 크기 정도의 먼지 하나가 존재하는 것으로 비유할 수 있다.
기술현황 > 연구개발 > 클린룸의 등급분류 기준
:: 기술현황 :: 기술현황 연구개발
GREENFlowtech HOME> 기술현황 > 연구개발 > 클린룸의 등급분류 기준 작성일 : 08-09-02 16:48 클린룸의 등급분류 기준 글쓴이 : 관리자 조회 : 28,735 조회 : 28,735 Clean Room Class 1. 과거 크린룸의 규격은 대부분 미국과 일본의 규격을 인용한 것으로 통상 미국의 규격을 사용하였으나 현재 ISO 14644의 국제규격으로 통일되어 적용됩니다. 크린룸관련 국제규격은 다음과 같습니다.
(1)한국 KS M ISO 14644-1~5
(2)미국 – 산업용크린룸 규격: FEDRAL STANDARD 209E
– 바이오 크린룸 규격: NASA NHB 5340.2
(3)일본 JIS B 9920, JACA No.24
(4)국제규격 ISO 14644 2. 기타 한국 공업규격
KS A 0090 : 시험용 분체 및 시험용 입자
KS A 0701 : 소음도 측정방법
KS B 6336 : 광산란식 자동 입자 계수기
KS M 9900 : 크린룸안에 부유미립자의 농도 측정방법 및 크린룸의 공기청정도 평가방법
KS M 9901 : 클린밴치 3. ISO 14644-1에서 규정하는 공기부유입자에 의한 공기청정도의 분류
※ N : Maximum concentration limits(particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown above
4. 미국 산업용크린룸 규격 FEDRAL STANDARD 209E은 현재 ISO 14644로 통일되어 적용되고 있으며 ISO 규격과 관련하여 국가 규격의 비교는 다음 표와 같습니다.
(1)US Federal Standard 209D (Class란 1 입방 ft내의 공기 체적내에 입경 0.5마이크로 미터 이상의 입자의 수)
(2)US Federal Standard 209E
(3)Comparison of Each Standard
5. US NASA NHB 5340.2에 의한 BIO Clean Room의 청정도 등급
6. 분야별 요구되는 청정도 등급
(1)의료, 제약부분
(2)식품부분
(3)반도체,정밀기계부분
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[디스플레이 용어알기] 80편: 클린룸(Clean Room)
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